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采用安全的LED光源的反射型晶圆定位传感器
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UL 、CE 已取得。
CE : EMC指令
UL : Recognition认证
特点
安全性卓越的LED式
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以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。 |
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亦可检测玻璃晶圆
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M-DW1以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。 |
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可检测涂氮晶圆
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置检测
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利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。 |
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可从四个方向引出电缆
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传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。 |
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内置放大器的小巧、轻盈型
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尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm，质量约为75g的小巧、轻盈型。 |
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